کنترل کننده برش پلاسما عمدتاً شامل اجزای زیر است:
منبع تغذیه با فرکانس بالا-: برای تولید میدان الکتریکی با فرکانس بالا استفاده میشود.
شبکه تطبیق: برای تنظیم توزیع میدان الکتریکی با فرکانس بالا در محفظه پلاسما استفاده میشود.
محفظه پلاسما: برای یونیزه کردن مولکول های گاز و تولید پلاسما استفاده می شود.
سیستم خلاء: سطح خلاء و پایداری محفظه پلاسما را تضمین می کند.
سیستم کنترل: برای کنترل پارامترهای پلاسما و دستیابی به کنترل پایدار خواص الکتریکی پلاسما استفاده می شود.
